干式真空泵是非接觸式真空泵，不使用油或液體進(jìn)行密封。它們實(shí)現(xiàn)了無回流或水和油擴(kuò)散的清潔真空。此外，不需要定期維護(hù)，如補(bǔ)充或更換水或油，操作非常簡單。它是

半導(dǎo)體制造過程以及強(qiáng)調(diào)清潔度的太陽能電池制造過程中的干式真空泵是非接觸式真空泵，不使用油或液體進(jìn)行密封。它們實(shí)現(xiàn)了無回流或水和油擴(kuò)散的清潔真空。此外，不需要定期維護(hù)，如補(bǔ)充或更換水或油，操作非常簡單。它是

半導(dǎo)體制造過程以及強(qiáng)調(diào)清潔度的FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵。近年來，它們的應(yīng)用范圍擴(kuò)大，因?yàn)樗试S從質(zhì)譜儀和電子顯微鏡等分析儀中輕松、清潔地排出氣體。此外，由于清潔真空和方便的維護(hù)，它們正在被引入各種應(yīng)用，如真空干燥過程和薄膜沉積過程。