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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科VPC-061A原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品簡介：

原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科 VPC-061A 小型蒸發(fā)設(shè)備
原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

產(chǎn)品型號：VPC-061A

更新時間：2025-11-12

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：120

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原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備


小型蒸發(fā)設(shè)備Model:VPC-061A

ULVAC

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。

    特點

    • 桌面緊湊型，可節(jié)省安裝空間。

    • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。

    • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

    • 停電時會自動開啟泄露閥，以保護主泵。

    規(guī)格

    modelVPC-061A
    真空性能極限壓力1.3×10-３Pa
    6.6×10-４Pa（液體氮氣使用時）
    排氣時間4.0×10-３Pa/20min
    1.3×10-３Pa/20min（液體氮氣使用時）
    真空槽真空槽玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ150mm×高200mm)
    饋通圈3端口(底面3)
    基板推薦尺寸?最大尺寸※1□25mm ? □50mm（Max）
    電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極構(gòu)成1點式
    蒸發(fā)電源?數(shù)量SEREM PSE-150C?1 式
    0～10V 150A（Max)
    排氣系統(tǒng)主泵油擴散泵（空冷）　50L/sec
    液體氮氣捕集器有
    補助泵油回轉(zhuǎn)泵 20L/min
    油霧捕集器選項
    操作系統(tǒng)主閥蝶閥
    補助閥三通閥e
    自動泄露閥有
    操作手動
    控制系統(tǒng)皮拉尼真空計選項
    電離真空計選項
    設(shè)置最大尺寸　本體434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
    　　　　　　電源480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
    質(zhì)量　　　　本體32kg
    　　　　　　電源40kg

    ※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。



    效用

    型式VPC-061
    所要時間本體100V 單相 50/60Hz 0.63kVA
    電源200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
    接地端子D種 （接地抵抗値 100Ω以下）
    組合連接本體　1Φ　100V橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m
    電源　1Φ　200V橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m







    尺寸圖

    原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備




    蒸發(fā)電源 SEREM


    原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

    原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備






    真空槽內(nèi)部構(gòu)成

    基本構(gòu)成

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